<大阪会場>
　◆日時／平成20年 7月16日（水）10：00〜
　◆場所／千里ライフサイエンスセンター　５階サイエンスホール
http://www.senrilc.co.jp/access/

　◆プログラム

10:00〜 挨拶  　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　副理事長･研究所長  山中千代衛

10:10〜　特別講演「Ｘ線自由電子レーザー計画」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　独立行政法人理化学研究所　播磨研究所　放射光化学総合研究センター
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　センター長　　石川　哲也氏
　　　　　　　理化学研究所では、オングストローム領域のコヒーレント光を出すためのＸ線自由電子レーザー施設
　　　　　　　の整備を進めている。講演では、そのための加速器技術を紹介するとともに、現在想定されている利
　　　　　　　用研究の一端を紹介する。

11:00〜　当研究所の研究とトピックス    　　　　　　　　　　　　　　　　常務理事･副所長  中塚　正大

11:20〜  核廃棄物処理の新方法！γ線を用いた核変換　　　　　　　　　　　　　主席研究員  今崎　一夫
　　　　　　　γ線はエネルギーが核の共鳴吸収に整合しており、またその指向性も非常に高い。そのためこの方式
　　　　　　　は大量に廃棄物を一括して核変換する方式には向かないが、少量の核を狙撃的に変換することが可能
　　　　　　　である。この方式は我々により提案され、基礎的な実証がなされた。講演では、この概要と現状、将
　　　　　　　来展望について報告する。

11:50〜　　−昼食−

12:40〜　ゴミ無し水不要！MEMSウェハのレーザーダイシング　　　　　　　　　主任研究員 　藤田　雅之
　　　　　　　加速度センサや圧力センサに用いられているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機
　　　　　　　械システム)部品はガラスとSiを貼り合わせた多層ウェハ上に製作され、微少なチップに分割される。
　　　　　　　可動機構を有するために、デブリフリーかつドライプロセスでダイシングする技術が求められている。
　　　　　　　講演では、レーザーを用いた多層MEMSウェハのダイシング技術を紹介する。

13:10〜　変換効率はまだ上がる！放射流体シミュレーションによる極端紫外(EUV)光源開発
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　研究員 　砂原　　淳
　　　　　　　過去５年間にわたる極端紫外(EUV)光源開発プロジェクト研究により、次世代半導体露光に必要な高輝
　　　　　　　度、高出力レーザー生成プラズマEUV光源の物理的達成条件が明らかになってきた。レーザーからEUV
　　　　　　　光の変換効率は現在の実験で最大４％程度であるが、理論的には８％程度まで向上できる可能性を見
　　　　　　　出した。

13:40〜　産業応用を目指して！太陽光エネルギーのレーザー光への直接変換　　　　　研究員  佐伯　　拓
　　　　　　　無限に存在する太陽光を、高効率で直接レーザー光へ変換する自然環境利用技術について紹介する。
　　　　　　　ビーム品質の良いCWレーザー光やパルスレーザー光の発生例を示す。また、その応用例についても述
　　　　　　　べる。

14:10〜　大出力テラヘルツ光源！Smith-Purcell方式による超放射FEL　　　　　　　研究員　 李　　大治
　　　　　　　Smith-Purcell放射についての研究が新たに興味を持たれている。この放射方式は、コンパクト、波
　　　　　　　長可変、および大出力テラヘルツ放射源に有望な手段と考えられたからである。講演では、Smith-
　　　　　　　Purcell放射の物理本質を理解することとあわせて、さまざまな効率の高い実用機構提案を詳細に紹
　　　　　　　介する。

14:40〜　レーザー損傷耐力の向上に向けて！損傷耐力評価法の標準化　　　　　副主任研究員　 本越　伸二
　　　　　　　レーザー出力を増加するためには、使用する光学素子や多層膜ミラーのレーザー損傷耐力の向上は、
　　　　　　　重要な課題である。反射率や設計が誘電体ミラーの耐力に及ぼす影響について最近の結果を述べると
　　　　　　　ともに、レーザー損傷閾値の標準化試験について報告する。

15:10〜  　−ポスター発表−

15:40〜　次世代コンクリート内部欠陥探傷！レーザー超音波リモートセンシング　副主任研究員　島田　義則
　　　　　　　レーザー超音波リモートセンシング探傷装置の探傷能力を向上させ、５ｍ遠方の大型コンクリート内
　　　　　　　部の欠陥を探傷できることを示した。講演では、装置の改良等を含め詳細に報告する。

16:10〜　レーザーピーニング！産業応用に向けたアブレーションのシミュレーション　副主任研究員　　古河　裕之
　　　　　　　固体中の圧縮応力の伝搬、アブレーションプルームの凝縮、固体･液体･気体･プラズマの相変化なども
　　　　　　　取り入れた統合シミュレーションコード開発により、様々なアブレーションの物理現象を明らかにし
　　　　　　　た。講演では、産業応用を目指したアブレーションのメカニズムを中心に報告する。

16:40〜　蛋白質内超高速光反応のメカニズム解明！フェムト秒レーザー蛍光顕微鏡　　研究員　　谷口　誠治
　　　　　　　フェムト秒レーザーを用いた蛍光顕微鏡は固体試料の光物性の観測において、これまで例のない微少
　　　　　　　な固体試料のフェムト秒蛍光の測定を可能にする。講演では、装置開発の現状と蛋白質微結晶や分子
　　　　　　　結晶等への応用について報告する。

　◆ポスター発表

多層MEMSウェハのレーザーダイシング技術開発（藤田雅之）
レーザー超音波リモートセンシングを用いたコンクリート内部欠陥探傷（島田義則、オレグ・コチャエフ）
EUVリソグラフィー光源開発：パンチアウトターゲットによる効率向上（島田義則）
レーザープラズマチャンネルからのマイクロ波放射と非破壊検査への応用（島田義則）
ピコ秒レーザーによる高反射膜のレーザー損傷（本越伸二）
レーザーピーニング：産業応用に向けたアブレーションのシミュレーション（古河裕之）
極端紫外光源用レーザー生成スズプラズマの放射流体シミュレーション（砂原　淳）
ガンマ線による核変換とエネルギーバランスの可能性（今崎一夫）
小型テラヘルツ放射光源の大出力化（李　大治）
蛋白質の光反応：FMN結合蛋白質ミュータントの光誘起電子移動（谷口誠治）
C1蛋白質の蛍光消失ダイナミクスにおけるHPAの効果（ハイク・コスロービアン）
産業応用を目指して：太陽光エネルギーのレーザー光への直接変換（佐伯　拓）
低温冷却Yb材料の特性（古瀬裕章）
白色光ライダーの可能性（染川智弘）

17:10〜　 　−技術相談−

<東京会場>　
　◆日時／平成20年7月23日（水）13：00〜
　◆場所／虎ノ門パストラルホテル　新館５階オーク
http://www.pastoral.or.jp/access/index.php

　◆プログラム

13:00〜 挨拶                                                　　　　     副理事長･研究所長  山中千代衛

13:10〜 当研究所の研究とトピックス　　　　　　　　　             　　　　常務理事･副所長  中塚　正大

13:40〜 ゴミ無し水不要！MEMSウェハのレーザーダイシング            　　　　  主任研究員  藤田　雅之
　　　　　　　加速度センサや圧力センサに用いられているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機
　　　　　　　械システム)部品はガラスとSiを貼り合わせた多層ウェハ上に製作され、微少なチップに分割される。
　　　　　　　可動機構を有するために、デブリフリーかつドライプロセスでダイシングする技術が求められている。
　　　　　　　講演では、レーザーを用いた多層MEMSウェハのダイシング技術を紹介する。

14:10〜 産業応用を目指して！太陽光エネルギーのレーザー光への直接変換　　　　　　研究員  佐伯　　拓
　　　　　　　無限に存在する太陽光を高効率で直接レーザー光へ変換する自然環境利用技術について紹介する。
　　　　　　　ビーム品質の良いCWレーザー光やパルスレーザー光の発生例を示す。また、その応用例についても述
　　　　　　　べる。

14:40〜 蛋白質内超高速光反応のメカニズム解明！フェムト秒レーザー蛍光顕微鏡　　　研究員　谷口　誠治
　　　　　　　フェムト秒レーザーを用いた蛍光顕微鏡は固体試料の光物性の観測において、これまで例のない微少
　　　　　　　な固体試料のフェムト秒蛍光の測定を可能にする。講演では、装置開発の現状と蛋白質微結晶や分子
　　　　　　　結晶等への応用について報告する。

15:10〜　−休憩−

15:30〜 核廃棄物処理の新方法！γ線を用いた核変換　　　　　　　　　　　　　　主席研究員  今崎　一夫
　　　　　　　γ線はエネルギーが核の共鳴吸収に整合しており、またその指向性も非常に高い。そのためこの方式
　　　　　　　は大量に廃棄物を一括して核変換する方式には向かないが、少量の核を狙撃的に変換することが可能
　　　　　　　である。この方式は我々により提案され、基礎的な実証がなされた。講演では、この概要と現状、将
　　　　　　　来展望について報告する。

16:00〜 次世代コンクリート内部欠陥探傷！レーザー超音波リモートセンシング　副主任研究員　島田　義則
　　　　　　　レーザー超音波リモートセンシング探傷装置の探傷能力を向上させ、５ｍ遠方の大型コンクリート内
　　　　　　　部の欠陥を探傷できることを示した。講演では、装置の改良等を含め詳細に報告する。

16:30〜 レーザー損傷耐力の向上に向けて！損傷耐力評価法の標準化　　　　　　副主席研究員  本越　伸二
　　　　　　　レーザー出力を増加するためには、使用する光学素子や多層膜ミラーのレーザー損傷耐力の向上は、
　　　　　　　重要な課題である。反射率や設計が誘電体ミラーの耐力に及ぼす影響について最近の結果を述べると
　　　　　　　ともに、レーザー損傷閾値の標準化試験について報告する。

17:00〜　技術相談