ホログラム加工
 

 ホログラムを用いるとレーザー光強度分布を制御することができます。ホログラム素子にはいくつかの種類がありますが、 高強度レーザーに対しては凹凸構造をもった石英板を用いることになります。計算により凹凸構造のパターンを決定し、 ホログラム(位相板または位相マスクとも呼びます)をリソグラフィなどの手法で作成します。このホログラムに平行なレーザー光を通して集光すると、 任意のレーザー光強度分布が実現します。ホログラム上の凹凸の高さは用いるレーザー波長の1/2や1/4となるため、 100 nm以下の高精度の作成技術が必要となります。この凹凸の高さが設計値からずれると、0次光と呼ばれる集光成分がパターン上に重なってしまいます。

 

図10 ホログラムによるレーザー光強度分布制御
左から、ホログラムのパターン・ホログラムを構成する凹凸構造の拡大写真
レーザー光強度分布のバーンパターン