レーザー加工
 

藤田雅之、ハイクコスロービアン (兼任)、染川智弘、北村俊幸


パルスレーザーを用いた微細加工を得意としています。レーザーとプラズマの相互作用の基礎知識、レーザー開発の実績を有しており、 将来的なレーザー開発の動向を考慮して研究テーマを展開し、学会・研究会・国際会議等で積極的に情報発信を行っています。また、 産業界のニーズに対応した共同研究開発も手掛け、数年の守秘期間の後には成果を公開し、産業界に役立つ事例として報告に努めています。
 

主要な加工トピックス

  • フェムト秒レーザー加工                                          
     
  • ホログラム加工                                            
     
  • レジスト剥離                                           
     
  • MEMSウェハのダイシング                                           
     
  • CFRPのレーザー加工