極端紫外 (EUV) 光源開発に関する理論シミュレーション

 

極端紫外(EUV)光源開発統合シミュレーションコードLAFRAC (Laser Ablation Fluid and RAdiation Code)

錫やキセノンなどの多数の束縛電子を持つレーザー生成プラズマからの放射を用いた極端紫外(EUV)光源開発に関して、 原子過程コード、状態方程式コード、 X 線の放射係数・吸収係数コード、レーザーアブレーション・放射・流体コード等から成る統合シミュレーションコードを開発し、理論的解析を行っています。

本研究は、文部科学省 Leading Project 「極端紫外 (EUV) 光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」の一環として行われています。

 


開発した統合シミュレーションコードの概略図

 

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