レーザーによる表面クリーニング

 

レーザーを物質の表面に照射すると、物質表面がレーザー光を吸収してプラズマになり飛散します。 この現象を利用して、表面のクリーニングが行えます。

特に近年発達したフェムト秒レーザーを用いることにより、熱による剥離ではなく、物質間の結合が切れて飛び散る現象が起こります。 この現象が起こると、レーザーが照射されたところと、そうでないところがはっきり区別され、クリーニング後の表面形状は境界の鋭い面が得られます。 また、熱として逃げているエネルギーが小さいために、クリーニング効率がよいという特徴があります。

 

 

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