レーザー光パターン制御技術

 

レーザーを用いて様々なパターンの微細加工をほどこす際に、 従来は(1)ビームをスキャンする、(2)ターゲットをスキャンする、(3)マスクをかぶせる、 等の手法が用いられてきました。これらの方法では時間がかかり、エネルギー利用効率も低くなります。 ホログラフィックな手法を用いることで、効率よく微細パターンの加工が可能となります。 レーザーの波面を制御することで任意のパターンを集光点で実現することができます。 このような技術はレーザー核融合では照射パターンをいかに均一にするかという目的のために研究されてきましたが、 当研究所は同じ手法をいかに任意のパターンで照射するかという目的のために利用しています。

 

 

二次元の位相板を用いてレーザー光を制御すると、任意のパターンが集光点で実現可能です。スキャンすることなく、色々な微細加工が可能となります。

 

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